5月19日,邯郸市行政审批局对中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司(简称“中船特气”)“年产200吨高纯六氟丁二烯建设项目”环评文件作出拟批准公示。公示期为2026年5月18日至25日。
项目名称:中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司年产200吨高纯六氟丁二烯建设项目
建设性质:改扩建
建设地点:河北省邯郸市肥乡区京津新材料产业园(公司现有厂区内)
建设单位:中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
公示日期:2026年5月18日至2026年5月25日
投资额:382.57万元
建设内容:依托公司现有高纯六氟丁二烯生产线部分设备进行技术改造。项目以粗品六氟丁二烯为原料,通过精馏系统进行提纯加工,年产高纯六氟丁二烯200吨。
产品前景:六氟丁二烯被视为新一代含氟蚀刻气体,兼具优异的蚀刻性能与较低的环境影响,广泛应用于逻辑芯片、DRAM及3DNAND存储芯片的蚀刻与沉积工艺,市场前景广阔。
中船特气是国内少数掌握六氟丁二烯工业化生产能力的企业之一,与昊华科技同为国产化主力。据了解,该公司现有名义产能200吨/年,但截至目前因合成工艺环节仍存在技术瓶颈,产能尚未有效释放,公司正持续加大研发攻关力度。同时,中船特气已布局提纯技术专利——一种基于萃取精馏结合掺杂氧化石墨烯吸附剂的电子级六氟丁二烯提纯方法,旨在满足半导体行业对高纯度产品的严苛要求。
来源:邯郸市行政审批局