广州工控集团广钢气体智能装备制造基地投产

发布日期:2025/08/20  来源:中国气协  本站有 人浏览 分享到:

近日,广州工控集团旗下广钢气体智能装备制造基地在杭州建德正式建成投产。当日,首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高纯制氮机大型模块化真空冷箱正式下线。这标志着广钢气体在超高纯电子大宗气体核心装备领域全面实现自主可控,向世界级气体公司目标迈出坚实一步。

全面升级 定义行业新标杆

本次投产的广钢气体智能装备制造基地项目占地65.9亩,总投资2.68亿元,是建德高端智能制造产业链的关键一环,将有力推动当地高端制造业集聚,为产业结构优化和升级注入强大动力。

作为广州工控集团自主培育的第一家上市公司,广钢气体致力于核心技术的自主研发与突破,为集成电路制造、半导体显示等高端制造业提供超高纯电子大宗气体解决方案,持续推动国产替代。

该基地将作为广钢气体核心装备尖端研发平台,持续强化企业核心解决方案创新能力,进一步引领技术升级;同时助力广钢气体实现制造能力跃升与技术集成深化,显著提升核心装备制造一致性、缩短交货周期,增强产品定制化能力,更精准、高效地满足不同客户对超高纯电子大宗气体的复杂需求,为全球客户提供更稳定及时的供应保障。

填补空白 加大研发创新

广钢气体Super-N 30K系列产品已在国内众多头部半导体行业客户中广泛应用,以卓越性能与可靠性赢得了客户高度认可,此次下线的Super-N 30K Pro超高纯制氮机大型模块化真空冷箱,是该系列产品的又一次全面升级。

该产品可稳定产出纯度达PPB级(十亿分之一)的氮气,副产PPB级高纯氧及粗氪氙液,满足半导体制造对气体杂质的极限要求。产品纯度标准比肩国际顶尖产品,有效填补国内超高纯气体装置制造能力空白。广钢气体正持续加大研发创新力度,产能规格更大的Super-N 50K Pro超高纯制氮机即将在国内某头部集成电路客户现场正式交付,进一步满足市场对更高产能、更优品质的需求。

来源:广州工控集团